集成傳感器（integrated sensor）是在半導體集成技術、分子合成技術、微電子技術及計算機技術等基礎上發展起來的.集成傳感器的種類很多，可大致歸為以下兩種類型:傳感器本身的集成化和傳感器與后續電路的集成化。

1.傳感器本身的集成化

傳感器木身的集成化可分為兩種情況:

一種是具有同樣功能的傳感器的集成化。如電荷禍合器件（CCD）就是在一塊半導體芯片上集成了許多光電傳感器的集成化器件.又如將多個相同的光敏二極骨“集成”在同一芯片上成為攝像儀中的光敏器件。這種集成化的特點是把對一個點的測量擴展成對一條線、一個平面或對空間的測量。

另一種是不同功能傳感器的集成化，使一個傳感器具有多種功能。如把溫度和濕度傳感器集成在一起，可同時槍測溫度和濕度。

2.傳感器與后續電路的集成化

此類集成化也可分為兩種情況

一種是傳感器和輸出電路的染成化。如光電傳感器和其放大電路集成在一起，可減少干擾，提高靈敏度;在硅片上制造薄膜傳感器及放大器而構成的加速度傳感器等。

另一種是將傳感器和后續數據處理電路集成在一起。如微機化的傳感器.既具備傳感器的功能，又具有記憶及運算的功能、信息處理及非線性濾波的功能、多重輸人系統的構成與同一數據的周期近復處理功能，以及系統的調節與控制的功能等。因此，這種傳感器是一種多功能化的傳感器。

總的來說，集成傳感器具有如下特點:

（1）成木低。由于集成電路工藝已十分完善，利用這種技術可降低產品的成本。

（2）小型化。以硅技術為纂礎，將多個相同或不同的器件集成在一起，使許多引線變為芯片的內部連線，可使體積大大縮小。

（3）性能改善。集成傳感器可以把溫度補償、信號放大及處理電路做在同一塊芯片上，這樣就使環境沮度變化和電源波動等外界因素對輸出信號的影響減至zui小。

（4）可靠性提高.由于集成化的結果，使外引線變為內引線，器件的焊點大大減少，可靠性得以提高。

（5）接口靈活性增加。可在傳感器芯片上設計阻抗變換電路、電平變換電路等，以適應不同的要求，便于與外電路連接。

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